ZMAREZ® 670W 具有优异的抗腐蚀性介质,是应对最苛刻半导体工艺的首选密封材料。可应用于离子注入 (Ion Implantation):束流线密封、工艺腔室门密封、等离子体源区域密封等,耐受高能离子轰击和伴生的等离子体环境;干法蚀刻 (Dry Etching):尤其是介质蚀刻和金属蚀刻工艺腔室,适用于接触高腐蚀性、高活性气体的关键密封点;等离子体去胶与清洗 (Ashing & Cleaning):需要耐受氧等离子体及多种清洗气体的工艺;严苛的湿法化学处理:涉及热浓酸、强氧化剂或混合化学品设备密封。
ZMAREZ® 670W 最高使用温度 230 度,能够满足 FDA 要求,可加工成 O 形圈、膜片、垫圈、胶条、胶板及客户定制产品。
具有优异的抗腐蚀性介质
耐受高能离子轰击和伴生的等离子体环境
机械密封
泵,阀,压缩机
计量及控制仪表
反应器
搅拌器及研磨机
分析仪器
喷涂设备
晶圆制备,清洁及冲洗
湿法刻蚀
去胶(Stripping), 冲洗 (Rinsing)
镀铜(Copper Plating)