ZMAREZ® 930A 全氟弹性体零件是一种深褐色产品，具有高洁净度，优异的热稳定性、压缩永久变形和放气性能，优良的抗等离子体性能，产生极少的粒子。适用于半导体制程中等离子体的环境，最高使用温度为 300℃。
ZMAREZ® 930A 可加工成 O 形圈、膜片、垫圈、胶条、胶板及客户定制产品。
适合热制程的全氟橡胶
低释气性
耐磨，低摩擦系数
低压变
腔室密封
窗密封
阀
气体入口 / 出口
晶圆处理部件
沉积：LPCVD, CVD, APCVD, HDPCVD, PECVD, RPCVD, SACVD
等离子刻蚀
灰化
溅射、离子注入
氧化、扩散、退火
